ノベリオンシステムズ株式会社

事業概要

半導体製造装置に搭載されるプラズマ発生装置ならびにイオンビー ム発生装置を開発し、販売しています。また、大手の装置メーカー 様から、新しいプラズマ応用装置の研究開発を受託しています。